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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(股票代码:688785)创立于2013年,是国内领先的半导体设备核心零部件供应商。公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及各种配件的研发、生产、销售与技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关核心零部件,围绕等离子体工艺提供整体解决方案。公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关,成功打破国外长达数十年在国内的垄断格局,自主研发产品技术达到国际先进水平,填补了国内空白。